按照硅片电阻率测量的国际标准(ASTM F84)及国家标准设计制造该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准,本机配置232电脑接口及USB两种接口,本机采用范德堡测量原理能改善样品因几何尺寸、边界效应、探针不等距和机械游移等外部因素对测量结果的影响及误差,比市场上其他普通的四探针测试方法更加完善和进步,特别是方块电阻值较小的产品测量,更加准确.
本仪器本仪器采用四探针单电测量法适用于生产企业、高等院校、科研部门,是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示,无需人工计算,并带有温度补偿功能,电阻率单位自动选择,仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程,无需人工多次和重复设置。采用高精度AD芯片控制,恒流输出,结构合理、质量轻便,运输安全、使用方便;选配:配备软件可以由电脑操控,并保存和打印数据,自动生成报表;本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示,同时显示液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率,配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.
广泛用于:覆盖膜;导电高分子膜,高、低温电热膜;隔热、防辐射导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层,电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料,其他半导体材料、薄膜材料方阻测试
硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻 半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件,导电薄膜(ITO导电膜玻璃等),金属膜,导电漆膜,蒸发铝膜,PCB铜箔膜,EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率 导电性油漆,导电性糊状物,导电性塑料,导电性橡胶,导电性薄膜,金属薄膜,抗静电材料, EMI 防护材料,导电性纤维,导电性陶瓷等
规格型号 |
FT-331 |
FT-332 |
FT-333 |
FT-334 |
FT-335 |
FT-336 |
1.方块电阻范围 |
10-5~2×105Ω/□ |
10-4~2×103Ω/□ |
10-3~2×105Ω/□ |
10-3~2×103Ω/□ |
10-2~2×105Ω/□ |
10-2~2×103Ω/□ |
2.电阻率范围 |
10-6×106Ω-cm |
10-5×104Ω-cm |
10-4~2×106Ω-cm |
10-4~2×104-cm |
10-3~2×106Ω-cm |
10-3~2×104-cm |
3.测试电流范围 |
0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA |
10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA |
0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA |
10μA,100µA,1mA,10mA, 100 mA |
0.1μA,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA |
1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA |
4.电流精度 |
±0.1%读数 |
±0.2%读数 |
±0.2%读数 |
±0.3%读数 |
±0.3%读数 |
±0.3%读数 |
5.电阻精度 |
≤0.3% |
≤0.3% |
≤0.3% |
≤0.5% |
≤0.5% |
≤0.5% |
6.显示读数 |
液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率 |
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7.测试方式 |
普通单电测量 |
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8.工作电源 |
输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W |
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9.整机不确定性误差 |
≤4%(标准样片结果) |
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10.选购功能 |
选购1.pc软件; 选购2.方形探头; 选购3.直线形探头; 选购4.测试平台 |
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11.测试探头 |
探针间距选购:1mm;2mm;3mm三种规格; 探针材质选购:碳化钨针;白钢针;镀金磷铜半球形针 |