控制和维护无尘车间的净化程度,不只是需要硬设备的搭配与投入。而且还一定要有优秀的软件调配系统的“井上添花”就可以维持好无尘室所需要洁净程度的标准。也要借助人员的管理、设备、原料和无尘室内所需物品进行细分讨论。无尘室主要的运作系统有空调系统、还有制程系统。
控制和维持无尘室的净化程度要从污染源入手,经测试分析得出结果室内的微污染来源80%都来自作业人员,污染源可以分成内、外两种污染源。其中生产设备、作业人员、分割材料、各种生产使用的工具材料统称为内部微污染,另外无尘室所使用的空调送风系统及材料、工作的服装缝隙进入污染、液体和气体等统称为外污染。假如微小的尘粒子附着在硅芯片上,便造成集成电路线路短路或着变形,硅芯片就不能工作运行了。无尘室维护的重要环节是控制微污染源,主要有三大环节;
一、外微尘子污染之防范:http://www.szpengkai.com/
无尘室适当保持正压>0.5mmAq,做好运作系统的不漏气,物品和人员做好除尘工作后再进入无尘室,适当设置管理空气过滤器。
二、室内微尘子之杜绝:
地板、分隔板等无尘室装修材料的适当选用、生产设备的发尘抑制、生产自动化设备及人员不聚集、动作放松、衣服洁净的管理、使用无尘室专用器。墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。
三、发生微尘子之清楚: